高精度工具測量顯微鏡系列

產品型號：MS系列

簡要描述：顯微鏡系列，MS高精度工具測量顯微鏡結合了金相顯微鏡的高倍觀察能力，和影像測量儀的 X、Y、Z 軸表面尺寸測量功能，具備明暗場、微分干涉、偏光等多種觀察功能。可廣泛應用于半導體、PCB、LCD、手機產業鏈、光通訊、基礎電子、模具五金、醫療器械、汽車行業、計量行業等領域的檢測。

企業實力
Enterprise Strength
有效保修
Valid Warranty
質量保障
Quality Assurance

PRODUCT CATEGORY

　　舜宇 SOPTOP MS 系列高精度工具測量顯微鏡：工業精密檢測一體化解決方案

　　一、產品概述

　　舜宇儀器作為國內專業光學儀器生產廠商，自主研發推出 MS 系列高精度工具測量顯微鏡，是一款融合金相顯微觀測與三維尺寸測量能力的復合型國產精密檢測設備。設備打破傳統單一檢測設備的功能局限，將金相顯微鏡高倍率微觀觀察優勢、影像測量儀 XYZ 三軸尺寸測量功能合二為一，集成明場、暗場、微分干涉、偏光等多模式觀測光路，適配多行業精密零部件外觀、形貌、尺寸一體化檢測需求。

　　設備搭載行業成熟的無限遠校正光學系統，配套長工作距離金相物鏡與六孔電動物鏡轉換器，兼顧大視野觀測、超長工作距離測量與超高放大倍率三重需求，面對微小精密元器件、大尺寸工件、高低落差復雜樣品都能提供穩定、精準的檢測方案，是半導體、電子制造、精密加工、醫療等行業實驗室與產線質檢的核心設備。

　　二、核心硬件結構與七大核心優勢

　　(一)一體化人體工學整機設計

　　MS 系列采用高度集成一體式機身架構，設備工作臺整合主機容納空間，前置可收納鍵盤位，X、Y 雙軸操作手輪、功能按鍵布局貼合人體操作習慣，檢測人員全程坐姿即可完成全部操作，無需頻繁起身調整工位。同時設備支持兩種工作臺方案自由選配，小型一體式操作臺節省實驗室空間，大型專用設備桌可承載更多配套外設，企業可根據車間場地、檢測批量靈活選擇。

　　(二)5°-35° 寬幅可調雙目觀察筒

　　設備雙目觀測筒支持 5° 至 35° 傾斜角度無極調節，適配不同身高操作人員，無論是站立快速抽檢，還是長時間坐式精細檢測，都能調整至舒適觀測視角，大幅緩解長期檢測帶來的頸部疲勞，兼顧產線批量檢測與實驗室高精度分析兩種使用場景。

　　(三)多規格大行程花崗石載物臺，支持定制

　　載物臺基底采用高精度花崗石材質，穩定性強、不易變形，提供四款標準行程規格：200mm×100mm、300mm×200mm、300mm×300mm、400mm×300mm，從小型芯片、PCB 微元件到大型模具零部件均可平穩放置。針對超大尺寸、異形工件檢測需求，廠商還可提供載物臺非標定制服務，全覆蓋各類樣品尺寸檢測需求。

　　(四)0.1μm 超高精度三軸測量系統

　　整機搭載分辨率達 0.1 微米的 XYZ 三軸光柵測量系統，Z 軸最大運動行程可達 150mm，可輕松完成高低落差樣品的高度、臺階尺寸測量。Z 軸配備機架集成式電動調焦控制器，設置三檔調速模式，精細對焦、快速移動自由切換，大幅提升調焦效率，減少長時間檢測帶來的操作疲勞；配套 SW3000 三軸數顯計數器，實時同步顯示 X/Y/Z 三軸坐標數值，公英制一鍵切換，數據讀取直觀清晰。

　　(五)獨立裂像輔助對焦光源，對焦精準高效

　　設備搭載專屬獨立裂像光源控制系統，可根據樣品表面反光、底色差異自由調節光源亮度，快速鎖定樣品最佳焦平面。內置明襯、暗襯兩種裂像對焦圖案，一鍵切換，針對啞光工件、鏡面晶圓、金屬鍍層等不同材質樣品，都能快速完成清晰對焦，解決高倍觀測下對焦模糊、定位困難的行業痛點。

　　(六)自主研發專業測量軟件，智能高效測量

　　配套舜宇自主開發 MS 專用測量軟件，操作界面簡潔直觀，支持用戶自定義檢測參數、保存專屬測試方案。軟件與六孔電動物鏡轉換器聯動，可自動識別當前物鏡倍率，杜絕人工手動選錯倍率造成的尺寸誤差；內置點、線、圓、圓弧、距離、角度、面積等全套幾何測量工具，面對不規則復雜輪廓、微型精密結構，均可完成微米級高精度尺寸測算，測量數據可實時存儲、導出歸檔，滿足質檢數據追溯要求。

　　(七)專業金相光學配置，多模式微觀觀測

　　主機光路搭載標準明場(BF)、暗場(DF)切換模塊，搭配長工作距金相物鏡與六孔電動轉換器，可拓展微分干涉、偏光觀測功能。明場用于常規金屬、電子元件形貌觀察；暗場可凸顯樣品表面微小劃痕、顆粒缺陷；微分干涉清晰呈現樣品表面微觀凹凸形貌；偏光模式適配晶體、鍍層、復合材料內部結構分析，一臺設備即可完成多類微觀缺陷檢測。

　　三、廣泛行業應用場景

　　MS 系列工具測量顯微鏡憑借觀測 + 測量一體化能力，覆蓋全產業鏈精密質檢場景，主流應用行業包含：

　　半導體與光通訊行業：晶圓、芯片引腳、光纖連接器、精密陶瓷元件外觀缺陷與尺寸檢測；

　　電子制造產業：PCB 線路板、LCD 顯示屏、手機零部件、微型連接器、電池極片微觀形貌、孔徑、線寬測量；

　　精密五金與模具行業：沖壓件、模具型腔、刀具、微小緊固件倒角、臺階、輪廓尺寸檢測；

　　醫療器械行業：微型醫用金屬配件、導管、精密植入件表面瑕疵與幾何參數測量；

　　汽車零部件與計量實驗室：汽車微型傳感器、精密密封件尺寸校驗，計量機構標準件精度標定。

　　四、產品基礎信息

　　MS 系列高精度工具測量顯微鏡由寧波舜宇儀器有限公司自主生產，屬于國產精密光學檢測設備，設備售價面議，最終成交價格根據載物臺規格、光路配置、軟件配套、工作臺選配等需求以商務合同為準。設備上線至今累計瀏覽量超 9000 次，獲得各行業質檢實驗室、生產車間廣泛落地應用，是替代進口工具顯微鏡的高性價比國產檢測方案。

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